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XYZ微型顯微鏡平臺 

產(chǎn)品特性：

XY軸為直線(xiàn)電機，集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.75um

Z軸采用高精度私服電機+絲桿結構，光柵尺

反饋，重復定位精度±0.5um

典型應用領(lǐng)域：

8寸，12寸晶圓檢測

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）