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產(chǎn)品特性：

XY十字疊加結構，內置直線(xiàn)電機，步進(jìn)/掃描

Z軸采用特別設計，用于光學(xué)調焦，重復定位精度±1um

XY集成高精度光柵尺，重復定位精度±0.5um

底座為采用大理石材料，可以很好的保證下軸高的平面度

典型應用領(lǐng)域：8寸/12寸晶圓檢測

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）