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產(chǎn)品特性：

用于920mm*1500mm 液晶面板封裝

機械結構：

    橫梁：X1-X5 &Z1-Z5  共10軸   

    大理石底座：雙電機驅動(dòng)+Rz校正+LiftPin設計+陶瓷Chuck盤(pán)，4軸

滿(mǎn)足激光區域：

XY=1600*1500 mm

Vmax=500 mm/s

Z向靜態(tài)抖動(dòng)0.1 μm

XY絕對定位精度±5 μm

機臺重量接近14噸，上海工廠(chǎng)生產(chǎn)

大理石平臺尺寸：2850*2450*2500 mm典型應用領(lǐng)域：G6.5 OLED 激光封裝

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）