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產(chǎn)品特性：

XY為超薄直線(xiàn)電機，內置光柵尺，重復定位精度＜1um

Theta軸為直驅力矩電機，角度調整，內置光柵尺

最上端為3個(gè)Z軸音圈電機，特殊算法，內置光柵尺，可以實(shí)現上下調焦及超高精度調平

典型應用領(lǐng)域：電子元器件精密裝配/檢測、晶圓檢測

*如需詳細參數，請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）