前言
以直線(xiàn)電機為代表的直驅技術(shù)是解決精密生產(chǎn)中高精度、高吞吐量要求的必經(jīng)之路，精密設備的的驅動(dòng)控制架構構建也要同時(shí)滿(mǎn)足系統兼容和特殊結構的復雜要求。在精密運動(dòng)平臺領(lǐng)域，分布式多軸驅動(dòng)器成為了解決關(guān)鍵問(wèn)題的熱門(mén)產(chǎn)品。
什么是多軸驅動(dòng)器？
分布式總線(xiàn)型驅動(dòng)器是當今自動(dòng)化系統的總體趨勢，DSP+FPGA是一種常見(jiàn)的驅動(dòng)器信號處理架構。如果讓一組次架構的運算核心同時(shí)處理多軸的伺服閉環(huán)運算，則構成了一套多軸伺服驅動(dòng)器。充足的運算能力可以讓驅動(dòng)器同時(shí)處理單軸、雙軸或多軸的閉環(huán)算法和高速信號處理。
為什么需要多軸驅動(dòng)器？
多軸驅動(dòng)器共享硬件算力、共享母線(xiàn)驅動(dòng)電路的做法，減少了PCBA制造成本、母線(xiàn)電路元器件成本，是一種經(jīng)濟、節省空間的有效方法。
典型應用
應用一： 小型儀器設備
小型微動(dòng)儀器設備對運動(dòng)精度和體積都具有較高要求，小型多軸驅動(dòng)器具有靈活的上位控制方案、較少的軸數、精巧的單體設計。
XYZ模組
反饋映射
小型微動(dòng)儀器設備對運動(dòng)精度和體積都具有較高要求，小型多軸驅動(dòng)器具有靈活的上位控制方案、較少的軸數、精巧的單體設計。
AGD系列
應用二：龍門(mén)控制
軸間耦合及虛擬軸控制
對比軸間通訊方式的龍門(mén)控制，多軸驅動(dòng)器的龍門(mén)控制方案具有高控制帶寬、高同步的特點(diǎn)，可以輕松實(shí)現剛性、柔性龍門(mén)軸的行走軸控制和扭擺軸控制。能夠實(shí)現更高的運動(dòng)速度和更高的控制精度，同時(shí)降低了接線(xiàn)復雜程度和調試流程。
柔性龍門(mén)
應用三：
晶圓量檢測——光學(xué)調平/調焦模塊（ZTT模塊）
對于半導體領(lǐng)域常用的晶圓載臺，需要將多個(gè)Z向電機耦合成常用的Z、Rx、Ry軸進(jìn)行高度和傾斜姿態(tài)的調整。多軸驅動(dòng)器提供了DSP層面的耦合算法，具更備高的控制帶寬和更容易使用的控制接口。
雅科貝思提供八軸驅動(dòng)一體方案，能夠實(shí)現高精度平臺和Wafer載臺的整體控制。
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