產(chǎn)品特性:
XY中空設計
XY行程288mm*288mm
XY十字疊加結構,內置直線(xiàn)電機及高精度交叉滾柱導軌
XY集成高精度光柵尺,重復定位精度±0.5um,絕對定位精度2um
典型應用領(lǐng)域:4/6/8寸晶圓檢測
*如需詳細參數,請聯(lián)系雅科貝思銷(xiāo)售工程師(郵箱:cust-service@akribis-sys.cn)
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